Gloria-LDLS-A 激光驅動白光光源

產(chǎn)物概述

激光驅動白光光源是一款高亮度，高穩(wěn)定、長壽命寬光譜白光光源，采用激光驅動光源技術，使用連續(xù)激光直接加熱氙離子至需要的溫度，從而產(chǎn)生波長范圍從170蒼塵到2100蒼塵以上的白光。此外由于等離子體中心位置高度穩(wěn)定，因此空間穩(wěn)定性就會很好，在較長距離都有很好的準直性。

Gloria-LDLS-A 激光誘導高亮度白光光源

寬帶白光光源，采用激光泵浦的方式維持等離子體放電發(fā)光，避免了使用電極所帶來的種種缺陷。

特點和優(yōu)勢

■ 超高亮度

■ 超寬光譜

■ 超長壽命

■ 超穩(wěn)定的緊湊型激光誘導白光光源

技術參數(shù)

■ 光譜輸出范圍：170-2100nm

■ 光譜輻射亮度：40mW/(mm2*sr*nm)@400nm

■ 輸出方式：自由空間輸出

■ 數(shù)值孔徑：0.47

■ 功率穩(wěn)定性：RMS<0.3%@30S

■ 燈泡壽命（典型值）：10000小時

■ 發(fā)光點尺寸：97*194um

■ 光源尺寸：82*86*76

■ 電源尺寸：113*111*209

■ 冷卻：自然冷卻，無需外部輔助

■ 充氮：工作在DUV時需要通入氮氣
光譜分布圖